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蒸發(fā)鍍膜儀的作用與功能特點

日期:2025-05-10 06:15
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摘要:
    蒸發(fā)鍍膜儀是一款高真空的蒸發(fā)鍍膜儀,特別適合蒸鍍對氧較敏感的金屬膜(如Ti、Al、Au等),也可蒸鍍各種氧化物材料。本機設有4個蒸鍍加熱舟,且每個蒸鍍舟都帶有擋板。若更改部分配置也可實現(xiàn)對有機材料的蒸發(fā)鍍膜,可滿足發(fā)光器件及有機太陽能電池方面的研究要求,是一款鍍膜效果理想且性價較高的實驗設備。

蒸發(fā)鍍膜儀功能特點:

    真空控制單元全部集合在一個控制盒內。

    采用獨立的蒸鍍電流控制器,操作方便快捷。

    真空腔體設有1個KF40旁抽閥(直接與前級機械泵相連,方便快速取放樣品,提高效率)、1個CF150閘板, 閥(直接與分子泵相連)、1個KF16法蘭(安裝電阻規(guī))、5個CF35法蘭(1個安裝電離規(guī),4個備用,便于,安裝其他設備)。

    在腔體底部配有5個水冷電極,可支持4個蒸鍍加熱舟。

    4個蒸鍍加熱舟上方配有獨立的可移動擋板,有效地避免蒸發(fā)時相互污染。

    樣品臺安裝在腔體的頂部。

    腔內可裝高分辨率的薄膜測厚儀,精度為10?。

    可使用循環(huán)水冷機。

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