桌面型單靶磁控鍍膜儀可用于金屬薄膜的制備，在電子領(lǐng)域、光學(xué)領(lǐng)域、特殊陶瓷制備等領(lǐng)域均有應(yīng)用，也可實(shí)驗(yàn)室SEM樣品制備。本套配置采用英真空腔體，鍍膜過程全向可視，便于實(shí)驗(yàn)的觀察記錄，腔體設(shè)計(jì)開啟方便，易于清理，十分適合實(shí)驗(yàn)室使用。
旋轉(zhuǎn)加熱樣品臺(tái)可以有效提高薄膜的均勻性和成膜的質(zhì)量。整機(jī)采用模塊化設(shè)計(jì)，操作邏輯簡單，操作界面直觀，利于上手。該型號(hào)可選配膜厚儀組件，可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)膜厚數(shù)據(jù)，為實(shí)驗(yàn)工藝提供可靠參數(shù)。

名稱	桌面型單靶磁控鍍膜儀
型號(hào)	TN-MSP180G-DC
特點(diǎn)	A.小型化設(shè)計(jì)，將設(shè)備外形限制在了桌面級(jí)別 B.旋轉(zhuǎn)加熱樣品臺(tái)，有效提高薄膜的均勻性和成膜的質(zhì)量 C.可用于制備單層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜等 D.可選配膜厚儀組件，可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)膜厚數(shù)據(jù)
技術(shù)參數(shù)	1.樣品臺(tái)： 直徑100mm， *高溫度500℃控溫精度 ±1℃，可旋轉(zhuǎn) 0-20rpm 可調(diào) 2.磁控靶槍： 2 英寸圓形平面靶,水冷  3.真空腔體： Φ180mm × H 215mm;高純石英; 觀察窗口 全向透明; 開啟方式 頂蓋拆卸式 4.直流電源： 1臺(tái)，輸出功率≤300W，輸出電壓≤600V，響應(yīng)時(shí)間＜5ms 5.水冷系統(tǒng) 水箱容積 9L 流量 10L/min 6.供電電壓：AC220V 50H 整機(jī)功率 2kw 7.膜厚儀 測(cè)量精度 0.1埃米 冷卻方式 水冷（可選配膜厚儀組件，可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)膜厚數(shù)據(jù)） 8.本設(shè)備不含真空泵，用戶應(yīng)搭配分子泵組進(jìn)行使用，推薦本公司CY-GZK103A泵組。